Vistas:0 Autor:Editor del sitio Hora de publicación: 2023-09-07 Origen:Sitio
El estudio tuvo como objetivo investigar y comparar la capacidad de dos precursores diferentes, el hexametildisiloxano y el octametilciclotetrasiloxano, en la producción de películas de dióxido de silicio. Los resultados del experimento mostraron que ambos precursores eran capaces de producir películas de dióxido de silicio uniformes de alta calidad, pero hubo ligeras diferencias en sus características.
El hexametildisiloxano, o HmdSO, es un precursor de fase gaseosa que se ha utilizado ampliamente en la producción de películas de dióxido de silicio para diversas aplicaciones industriales. Se descubrió que el precursor producía películas con altas tasas de deposición y buena homogeneidad. Por otro lado, el octametilciclotetrasiloxano u OMCTS es un precursor líquido que se usa menos comúnmente en la industria. Sin embargo, se demostró que OMCTS produce películas con más rugosidad y grosor más bajo en comparación con HMDSO.
El estudio también reveló que la elección del precursor podría tener un efecto sobre las propiedades físicas y químicas de las películas de dióxido de silicio. Las películas de HMDSO exhibieron un índice de refracción más alto y una menor densidad en comparación con las películas de OMCTS. Además, la composición química de las superficies de la película difería ligeramente, con OMCT que producían más grupos hidroxilo en la superficie de la película.
En general, el estudio destaca la importancia de elegir el precursor apropiado para aplicaciones específicas. Si bien tanto HMDSO como OMCTS han demostrado su eficacia en la producción de películas de dióxido de silicio, las ligeras diferencias en sus características pueden tener implicaciones en ciertas aplicaciones. No obstante, los hallazgos del estudio proporcionan una perspectiva positiva para el uso de ambos precursores en la producción de películas de dióxido de silicio de alta calidad.
